Study on the influence of γ-ray total dose radiation effect on the electrical properties of the uniaxial strained Si nanometer NMOSFET
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资源说明:### 关于γ射线总剂量辐射效应对单轴拉伸硅纳米NMOSFET电特性影响的研究 #### 摘要与背景 本研究聚焦于γ射线总剂量辐射效应对单轴拉伸硅(Si)纳米尺度NMOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)电特性的影响。随着集成电路技术的发展,纳米尺度器件如NMOSFET的应用越来越广泛,同时也面临着更加复杂的环境挑战,例如宇宙射线或核设施等极端条件下的辐射环境。在这些环境中,辐射可能对器件性能产生不利影响,因此研究辐射效应对器件性能的影响对于提高器件在极端环境下的可靠性至关重要。 #### 研究方法与实验设计 本研究通过实验分析了γ射线辐射下单轴拉伸硅n沟道MOSFET的载流子微观传输过程,并对其电特性进行了评估。为了准确地测量和分析辐射前后的变化,研究人员对每一样品在室温条件下进行了电容-电压(C-V)和电流-电压(I-V)特性的测量。此外,还开发了一个二维分析模型来考虑总剂量辐射对阈值电压(Vth)和载流子迁移率的影响,并通过MATLAB软件进行了数值模拟。 #### 主要发现 - **阈值电压漂移**:研究表明,在总剂量辐射作用下,阈值电压会发生显著漂移。 - **载流子迁移率退化**:辐射导致载流子迁移率下降,从而影响器件的速度和效率。 - **漏电流增加**:辐射增加了器件的漏电流,这可能会进一步影响其功耗和稳定性。 - **物理参数影响**:通过对不同几何结构和物理参数的模拟,揭示了它们如何影响阈值电压的变化。 #### 实验结果与模型验证 为验证所提出的模型的有效性,将模拟结果与实验数据进行了对比,结果表明两者之间存在良好的一致性。这表明该模型能够准确预测辐射环境下NMOSFET的行为,为研究单轴拉伸硅纳米器件在辐射环境下的可靠性和应用提供了重要的参考依据。 #### 讨论 随着器件尺寸不断缩小,单轴拉伸技术作为一种提升SiCMOS器件性能的关键技术受到了广泛关注。然而,在这种微缩趋势下,器件对环境变化变得更加敏感,尤其是对于极端环境下的辐射效应更为明显。因此,深入理解并量化辐射对单轴拉伸硅纳米尺度NMOSFET电特性的影响,对于指导未来器件的设计和优化具有重要意义。 #### 结论 本研究不仅详细探讨了γ射线总剂量辐射效应对单轴拉伸硅纳米尺度NMOSFET电特性的影响,而且还提出了一种有效的分析模型来解释这些现象。该研究成果不仅为理解和优化受辐射影响的NMOSFET提供理论基础,也为开发适用于恶劣环境的高性能电子设备奠定了坚实的基础。 #### 关键词解释 - **单轴拉伸硅**:指通过外部应变方式使硅材料沿某一方向发生形变,以改善其电子特性。 - **纳米尺度**:指器件的特征尺寸达到纳米级别(1至100纳米)。 - **NMOSFET**:即n沟道金属氧化物半导体场效应晶体管,是集成电路中的基本元件之一。 - **总剂量**:在特定时间段内,物体受到的累积辐射量。 - **电特性**:包括阈值电压、载流子迁移率、漏电流等,这些特性决定了器件的工作性能。
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